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多晶硅裝置球閥抱死或發(fā)卡的解決方案

2013
09-23

16:48:12

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305
來源:
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  BF35導讀:在多晶硅裝置上球閥發(fā)生抱死或發(fā)卡的主要原因為:
  
  1.閥座的板簧變形腔,密封性能不好,以致于硅粉進入閥座板簧變形腔,造成板簧被堵死失效后,球閥被閥座抱死從而不能很好的進行開關。
  
  2.閥體與球之間的中腔在閥門開關的時候進入硅粉,使球體抱死造成閥門不能順利開關。但造成這種原因需要一個工況條件,就是在硅粉潮濕的情況下才能黏結在腔體內。而硅粉在干燥或流體的情況下是不會造成這種抱死的情況的。要是硅粉在干燥或流體的情況下造成抱死情況那就是*種情況硅粉進入了閥座板簧變形腔了。
  
  解決上述兩種產(chǎn)生抱死閥門的方法:
  
  1.自貢閥門廠采用的是全“O”形球體,雙閥座,板簧加載結構,閥座密封設計成寬面刮刀式結構,在閥門開關時能除去黏結在球面的硅粉,具有自剪的自清潔功能,板簧采用雙石墨密封結構,在閥門密封的同時,板簧也被密封,介質不會進入板簧變形腔,使板簧不被堵死失效,可以長時間滿足使用要求。
  
  2.在潮濕硅粉堵塞閥門中腔造成抱死不能開關的這種特殊情況,我們一般建議客戶加強硅粉的干燥效果或改用自貢閥門廠推出的V形半球閥,來*解決這種堵塞問題。
  
  自貢球閥在設計結構上進行了非常細致的改進的同時,引進美國航天工業(yè)上的噴涂技術(金剛石噴涂上藝),其表面硬度為:HRC76~78,使用溫度:600℃~650℃,摩擦系數(shù):0.03~0.05,從而使多晶硅裝置上耐磨球閥的使用壽命超過了進口閥門效果。
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